產(chǎn)品中心
Product Center
熱門搜索：
GH/TGL-16C北京臺式離心機
GR1200北京微波灰化儀
GR/M50S北京非接觸式在線微波水分儀
GR/HL-100B北京數(shù)顯恒流泵
BX-Y229智能瀝青薄膜烘箱設備
GR/ALSF-1北京微波水分儀
GR/SS1000便攜式水露點分析儀 水露點檢測儀北京供應
BX-Y308C雙列PID臥式恒溫干燥箱試驗（202 標準型）
GR/X-MET5000便攜式X熒光光譜儀 金屬元素分析儀北京供應
GH/LT-06北京便攜式鋁液溫度計
GR/SNY-3北京齒輪雙面嚙合綜合測量儀
BX-Y306B不銹鋼臥式鼓風干燥箱試驗（新型）
GH/VF204北京便攜式真空抽濾系統(tǒng)
HZY-1北京單兵高原增氧呼吸器
GH/SZ-96北京自動純水蒸餾器
GH/Y-3北京絲網(wǎng)張力計
當前位置：首頁
產(chǎn)品中心實驗室常用設備、化行業(yè)工設備其他實驗室化工設備GH/FM-CVD北京石英管式微波等離子體裝置
北京石英管式微波等離子體裝置
產(chǎn)品簡介
product
產(chǎn)品分類| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|
石英管式微波等離子體裝置
型號：GH/FM-CVD
北京石英管式微波等離子體裝置該設備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電，從而產(chǎn)生等離子體。真空反應室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺可以方便地在反應腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)。
北京石英管式微波等離子體裝置基片臺位于石英管反應腔體的中心，該基片臺除了基本的上下升降功能外，同時具有水冷控溫的功能，雙層水冷支架與基片臺可方便地拆卸與維護，即使樣品以不同的形態(tài)（片狀、塊狀、粉末狀等）出現(xiàn)，更換或改裝基片臺也十分方便。
石英管反應腔兩端有雙層水冷套作降溫保護，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體，以確保反應腔的安全穩(wěn)定工作。
該設備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，額定轉速1400轉/分，機械泵與真空室之間設置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥），以便于真空系統(tǒng)運行安全及工作時反應氣體壓強的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常：相對不動接口采用金屬銅密封，相對可動接口采用橡膠密封。
真空測量采用數(shù)字壓阻式真空計，用來測量反應腔內(nèi)的工作氣壓。
主要電氣配置：
1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源，對實驗室電源無特殊要求。
2) 磁控管：采用工業(yè)上通用的磁控管，該磁控管具有使用壽命長、可靠性高的特點，維護方便。
3) 真空計：采用壓阻式真空計，用于測量工作時的工作氣壓。
4) 溫控儀：用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制。
5) 500W微波功率源：通過調(diào)節(jié)磁控管陽極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出，利用簡單、可靠、易維護的電路實現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出。
6) 冷卻水：裝置自帶循環(huán)冷卻水，對實驗室無水源要求，既節(jié)水又方便。
二、技術參數(shù)及特性1. 反應室工作壓強：幾百帕～十千帕
2. 反應室極限壓強: 6×10－1帕3. 反應室尺寸： Φ50mm
4. 微波功率： 0～500W5. 基片溫控： 200～1000℃
外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米（mm）
測量范圍 0.500W（Ω）
上一個：
返回列表
